关于光刻机历史之中篇（2023.6.25）

今天我们继续来讲光刻机……

上次我们讲到，飞利浦希望把光刻机这个包袱甩出去，但最终只有荷兰本地的一家叫ASM的小公司积极回应。飞利浦最终同意，与ASM合资成立光刻机公司，双方在新公司中各占一半股份。